آخرين سالهاى عمر شيخ علاء الدوله در صوفى آباد سمنان ، در محلى يا بنايى كه از آن به ( برج احرار ) تعبير كرده‌اند ، و يا در خانقاهى كه خود بنا كرده بود سپرى شد . وى در همان‌جا تا هنگام وفات به تأليف كتابها و ارشاد مريدان و سرودن اشعار مىگذراند و در خلال اين سالها يك بار به سال 732 هجرى به سفر حج رفت و اين آخرين زيارت او از خانهء خدا بود . در اشعار وى چندين بار به اسم محلى كه نام آن خداداد است بازمىخوريم « 1 » و حتى يك بار او شيخ خود را در غزلى كه به اشتياق ديدارش ساخته به طور تعريض بدان‌جا دعوت كرده است « 2 » معلوم نيست كه شيخ اين اسم را براى همان صوفى آباد به كار برده يا براى خانقاه خاص خود كه در آن محل ساخته بود ؟ به هر تقدير وفاتش را در برج احرار صوفى آباد نوشته‌اند ، به تاريخ جمعه بيست و دوم ماه رجب سال 736 هجرى . دولتشاه عمر او را در اين تاريخ به عدد كامل هفتاد و هفت سال و دو ماه و چهار روز نوشته است و جسد او را در حظيره عماد الدين عبد الوهاب دفن كردند . فصيحى خوافى « 3 » و دولتشاه « 4 » و معصومعلى شاه « 5 » قطعه زير را در تاريخ وفات شيخ علاء الدوله سمنانى نقل كرده‌اند ولى از شاعر آن نام نبرده‌اند : تاريخ وفات شيخ اعظم * سلطان محققان عالم

--> ( 1 ) . اى كه گفتى كه خداداد خداداد و از آن * نام او كرد خداداد زهى قول سديد ( 2 ) . در غزلى به مطلع : هر نسيمى كه به من نفخهء بغداد آرد * از دم عيسوى اى جان دل من ياد آرد تا آنجا كه : بر دل و جان تو ابواب فرح بگشايد * ناگهان محمل خود سوى خداداد آرد ( 3 ) . مجمل فصيحى جلد سوم صفحه 45 ( 4 ) . تذكره دولتشاه سمرقندى صفحه 281 ( 5 ) . طرائق الحقايق معصومعلى شاه جلد دوم صفحه 292